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專為IC半導體產業設計

適用于不同類型的IC半導體檢測
Mini LED 芯片檢測 IGBT元件
缺陷檢測

采用自主研發的碳納米管X光管

高光子效率碳納米管
一體化X射線源
支持多角度2.5D檢測可升級為3D
可提供定制化軟件功能

一鍵獲取高分辨率的圖像

最優分辨率可達到2.5μm
輕松勝任各種物體尺寸
和缺陷檢測廣泛應用于
新產品研發及質量抽檢、失效分析

應用案例&檢測效果

暫無數據

規格參數

系統參數
X射線源
探測器

系統參數	灰度等級	14/16bits
	系統分辨率	2.5μm
	標準外形尺寸	1454x1360x1785mm
	整體重量	1000kg
	載物臺尺寸	510x440mm
	最大傾斜角度	60°

X射線源	工作電壓	90~150KV
	工作電流	10~150μA
	焦點尺寸	3~15μm	可選
	光管類型	閉管

探測器	探測器類型	數字平板探測器
	像素尺寸	49.5μm	可選配更高級別
	像素數量	1300x1152	可選配更高級別
	成像面積	64x57mm	可選配更高級別

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離線式IC半導體 X-RAY DR

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